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      SpecEl橢偏儀
      • 名稱:SpecEl橢偏儀
      • 型號:SpecEl
      • 品牌:Ocean Optics
      • 描述:SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實...
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      產品概述
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      SpecEl 橢偏儀

            SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。


      技術參數

      波長范圍:

      380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選)

      光學分辨率

      4.0 nm FWHM

      測量精度

      厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

      入射角

      70°

      膜厚

      單透明膜1-5000 nm

      光點尺寸

      2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選)

      采樣時間

      3-15s (小)

      動態記錄

      3 seconds

      膜層數

      至多32層

      參考

      不需要

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